奧普士OPTEX的傳感器產(chǎn)品在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例

以下是一些日本奧普士 OPTEX 的傳感器產(chǎn)品在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例：

激光位移傳感器 CD2H 系列

測(cè)量搬運(yùn)機(jī)器人手臂下垂量：該系列傳感器可用于測(cè)量搬運(yùn)機(jī)器人手臂的下垂量，其測(cè)量范圍可達(dá) 1200mm，精度高，且兼容 IO - link，能輕松獲取更精確的測(cè)量值，有助于確保機(jī)器人在搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓等精密部件時(shí)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

測(cè)量精細(xì)陶瓷板厚度：可同時(shí)在精細(xì)陶瓷板的四個(gè)角和中心五個(gè)位置進(jìn)行厚度測(cè)量，使用 30mm 短程型用于四個(gè)角，130mm 中程型用于中心。其最高重復(fù)性為 0.25µm，能保證高精度測(cè)量，并且可通過(guò)專用免費(fèi)軟件即時(shí)記錄測(cè)量值，為陶瓷板在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用提供質(zhì)量保障。

超高精度激光位移傳感器 CDX 系列

切割鋸片撓度測(cè)量：CDX - 30A 等型號(hào)的激光位移傳感器，光斑尺寸為 ?30µm，可用于測(cè)量切割鋸片的側(cè)面和窄端面，不僅能高精度測(cè)量寬度，還能測(cè)量高度，從而對(duì)切割鋸片的撓度進(jìn)行精確監(jiān)測(cè)，有助于及時(shí)發(fā)現(xiàn)鋸片的變形情況，保證半導(dǎo)體晶圓切割的精度。

緊湊型低成本位移傳感器 CD33 - L30

晶圓定位測(cè)量：CD33 - L30 屬于鏡面反射型傳感器，可用于測(cè)量機(jī)器人手臂上晶圓的定位。即使對(duì)于像晶圓這樣的鏡面物體，也能實(shí)現(xiàn)精確的定位測(cè)量。配合 UQ1 - 02 作為控制器，可輕松連接到三菱電機(jī) Melsec - Q 系列模塊，且使用專用的 UQ1 導(dǎo)航設(shè)置軟件，方便用戶在使用多個(gè)傳感器時(shí)進(jìn)行計(jì)算設(shè)置，提高了晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中的定位精度。

位移傳感器 CD5 - W500

測(cè)量真空腔中金屬框架翹曲：CD5 - W500 的測(cè)量范圍為 500±200mm，可在腔外遠(yuǎn)距離測(cè)量半導(dǎo)體框架的翹曲，有助于監(jiān)測(cè)真空腔中金屬框架的變形情況，確保半導(dǎo)體制造過(guò)程中相關(guān)設(shè)備的穩(wěn)定性和精度。

漫反射型光電傳感器的工作原理是基于光的反射特性來(lái)檢測(cè)物體的存在或位置，具體如下：

發(fā)射與接收：傳感器由發(fā)射器和接收器組成。發(fā)射器會(huì)發(fā)出一束光，通常是紅外線或可見光，光束以一定的角度向周圍空間發(fā)散。當(dāng)光束遇到物體時(shí)，部分光線會(huì)被物體表面反射回來(lái)。接收器則負(fù)責(zé)接收反射光。

檢測(cè)判斷：接收器接收到的反射光強(qiáng)度會(huì)因物體的距離、表面材質(zhì)、顏色等因素而有所不同。當(dāng)沒有物體在檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí)，接收器接收到的光強(qiáng)較弱，主要是環(huán)境光以及發(fā)射器發(fā)出的光在空氣中散射后被接收器接收到的部分。當(dāng)有物體進(jìn)入檢測(cè)范圍時(shí)，物體表面反射的光會(huì)使接收器接收到的光強(qiáng)顯著增加。傳感器內(nèi)部的電路會(huì)將接收到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，并與預(yù)設(shè)的閾值進(jìn)行比較。如果電信號(hào)強(qiáng)度超過(guò)閾值，傳感器就會(huì)判斷有物體存在，并輸出相應(yīng)的信號(hào)，告知控制系統(tǒng)物體已被檢測(cè)到。

不同類型的漫反射型光電傳感器在具體性能和應(yīng)用上會(huì)有所差異，但基本的工作原理都是基于對(duì)物體反射光的檢測(cè)和分析來(lái)實(shí)現(xiàn)物體檢測(cè)功能。